Способ изготовления солнечного элемента

Номер документа 6220170034

РУБРИКА:
18. Технологии

РУБРИКА ГРНТИ:
44.37. Гелиоэнергетика

АТРИБУТЫ:
Отрасли: альтернативная энергетика
Тепловая энергия:
Электрическая энергия: электропроизводство
Виды топлива:
Водные ресурсы:

РЕКВИЗИТЫ:
Вид документа: Описание
Номер:
Автор (принявший орган): ПАО Завод "Красное знамя", 390043, Россия, г. Рязань, проезд Шабулина, 2а, (4912) 938-517, post@kznamya.ru
Дата: 24.07.2017
Регион: Рязанская область
Источник информации: http://www.kznamya.ru/

ПОЛНЫЙ ТЕКСТ ДОКУМЕНТА:

В способе изготовления солнечного элемента с n+ - р - р+ структурой, включающем осуществление операции создания на тыльной поверхности кремниевой пластины р+-слоя, легированного бором, путем одновременной диффузии бора и фосфора при термообработке кремниевой пластины с нанесенными на тыльную и лицевую ее поверхности боросиликатной и фосфоросиликатной пленок соответственно, удаление слоя кремния и текстурирование на лицевой поверхности в одном технологическом процессе, формирование на лицевой поверхности кремниевой пластины n+-слоя, легированного фосфором, диффузией фосфора из нанесенного источника и формирование контактов, после удаления слоя кремния и текстурирования лицевой стороны осуществляют защиту полученного на тыльной поверхности кремниевой пластины р+-слоя путем нанесения на него защитного слоя в одном технологическом процессе с диффузией фосфора для получения n+-слоя на лицевой поверхности кремниевой пластины, при этом перед формированием контактов указанный защитный слой удаляют. За счет указанной в предлагаемом способе совокупности и последовательности операций достигается стабильность технологического процесса и повышение качества СЭ.

Пример конкретного выполнения: использовались пластины монокристаллического кремния р-типа с ориентацией. После стравливания нарушенного слоя в растворе гидроокиси натрия или калия пластины отмывались в перекисных растворах. На лицевую и тыльную стороны пластины наносились стеклообразные пленки, содержащие легирующие примеси пятиокиси фосфора и окиси бора соответственно. Проводилась диффузия в атмосфере аргона при температуре около 980 °С в течение 20 мин. Полученный p+-слой имеет слоевое сопротивление около 25-35 Oм. Окисные пленки с поверхности пластины удаляются в растворе фтористоводородной кислоты. Далее проводится стравливание n слоя в растворе гидроокиси натрия или калия (2-5%) и изопропилового спирта (4-8%) при температуре 80±5 °С, при этом происходит текстурирование лицевой поверхности пластины. Диффузия фосфора проводится из нанесенной на лицевую поверхность пленки фосфоросиликатного стекла при температуре около 900 °С в течение 30-35 минут в среде аргона. Причем для предотвращения попадания пятиокиси фосфора на тыльную сторону пластины на тыльную сторону пластины наносится защитная стеклообразующая пленка. Полученный таким образом n+-слой имеет слоевое сопротивление 45-85 Oм. Затем следует стравливание легированного слоя кремния на торцах пластины и удаление защитного слоя с тыльной стороны солнечного элемента. Далее на обе стороны пластины методом трафаретной печати серебросодержащей пасты наносится контактная сетка, состоящая из узких токосборных полос и широких полос, предназначенных для присоединения токоотводящих проводников. Паста вжигается в конвейерной печи при максимальной температуре около 720 °С. В результате получаются солнечные элементы, имеющие КПД до 17%, с хорошим внешним видом с высоким процентом выхода годных изделий (не менее 90%).