Чувствительный элемент преобразователя давления и температуры

Номер документа 6420170028

РУБРИКА:
6. Патентное дело, изобретательство, рационализаторство

РУБРИКА ГРНТИ:
47.13.11. Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники

АТРИБУТЫ:
Отрасли: энергетическое машиностроение и оборудование
Тепловая энергия:
Электрическая энергия:
Виды топлива:
Водные ресурсы:

РЕКВИЗИТЫ:
Вид документа: Патент
Номер: 2606550
Автор (принявший орган): ООО «МСИДАТ»; 413102, Саратовская область, Энгельсский район, рп. Приволжский, ул. Мясокомбинат, 12/31; Тел/факс: 8 (8453) 55-10-95; e-mail: msidat@mail.ru; Харин Д.А., Разинов Д.В.
Дата: 10.01.2017
Регион: Саратовская область
Источник информации: http://msidat.ru

ПОЛНЫЙ ТЕКСТ ДОКУМЕНТА:

 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в разработке и изготовлении малогабаритных полупроводниковых преобразователей давления и температуры. Сущность изобретения заключается в том, что чувствительный элемент преобразователя давления и температуры включает пластину из кремния, имеющую металлизированные контактные площадки, коммутирующие области, и утоненную часть в виде мембраны, на которой расположены составные тензорезисторы, расположенные радиально и тангенциально относительно мембраны; терморезистор, причем тензорезисторы и терморезистор соединены через коммутирующие области по мостовой схеме, терморезистор выполнен составным, по крайней мере, из двух частей, тензорезисторы выполнены, по крайней мере, из двух последовательно соединенных частей, при этом составные части тензорезисторов соединены между собой и составные части терморезистора соединены между собой через коммутирующие области, причем коммутирующие области представляют собой высоколегированные области р+-типа проводимости. Технический результат: обеспечение возможности создания чувствительного элемента преобразователя с высокими показателями чувствительности и надежности. Задача настоящего изобретения заключается в создании чувствительного элемента преобразователя давления и температуры с высокими показателями чувствительности и надежности. Технический результат заявляемого изобретения заключается в снижении потребляемой мощности и уменьшении теплового сопротивления кристалла. Поставленная задача решается тем, что чувствительный элемент преобразователя давления и температуры включает в себя пластину из кремния, имеющую металлизированные контактные площадки, коммутирующие области, и утоненную часть в виде мембраны, на которой расположены составные тензорезисторы, расположенные радиально и тангенциально относительно мембраны; терморезистор, причем тензорезисторы и терморезистор соединены через коммутирующие области по мостовой схеме, причем терморезистор выполнен составным, по крайней мере, из двух частей, тензорезисторы выполнены, по крайней мере, из двух последовательно соединенных частей, при этом составные части тензорезисторов соединены между собой и составные части терморезистора соединены между собой через коммутирующие области, причем коммутирующие области представляют собой высоколегированные области p+-типа проводимости.

Изобретение поясняется чертежами: фиг. 1 - планарная сторона чувствительного элемента, фиг. 2 - непланарная сторона чувствительного элемента, фиг 3. - сечение чувствительного элемента.

 

Позициями на чертеже указаны:

1 - тензорезистор тангенциальный;

2 - тензорезистор радиальный;

3 - терморезистор;

4 - высоколегированные области p+-типа проводимости;

5 - металлизированная контактная площадка.

Заявляемое устройство работает следующим образом. При подаче давления происходит деформация плоской тонкой мембраны, на которой расположены тензорезисторы. Происходит изменение сопротивлений тензорезисторов, и на выходе измерительного моста появляется сигнал, пропорциональный измеряемому прилагаемому давлению. Изменение температуры приводит к пропорциональному изменению сопротивления терморезистора, что используется для коррекции температурной погрешности нулевого сигнала, чувствительности, а также организации  независимого от давления канала выходного сигнала в зависимости от температуры, т.е. датчика температуры